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特殊气体

C4F6 / WF6
CH2F2 / CHF3
C4F6
c4f6

全氟丁二烯(C4F6)
[Hexafluorobutadiene]

· 应用 半导体蚀刻工程中所使用的Dry etching gas
· 规格 汽缸 : Cr-mo, 47L / 阀门类型 : DISS 724, CGA 350 etc. /
重量 (KG) : 25KG, 45KG

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· 产品规格

分类 单位 规格
纯度 % 99.9 以上
OFC ppm 700 以下
N2 ppm 40 以下
O2+Ar ppm 10 以下
HF ppm 10 以下
H2O ppm 20 以下
CO ppm 10 以下
CO2 ppm 20 以下
WF6
c4f6

六氟化钨(WF6)
[Tungsten Hexafluoride]

· 应用 - 薄膜（Thin Film）工程中金属接触（Metal Contact)
- 布线工程中接触插头（Contact Plug）
· PACKING 汽缸 : SUS316L, 40L / 阀门类型 : DISS 638, JISS22R /
重量 (KG) : 50KG, 70KG

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· 产品规格

分类 单位 规格
纯度 % 99.9995 以上
O2+Ar ppm 0.5 以下
N2 ppm 0.5 以下
CO ppm 0.5 以下
CO2 ppm 0.5 以下
SiF4 ppm 0.5 以下
SF6 ppm 0.5 以下
CF4 ppm 0.5 以下
HF ppm 1 以下
Cr ppb 50 以下
Na ppb 50 以下
Cu ppb 50 以下
Fe ppb 20 以下
Ca ppb 50 以下
Zn ppb 50 以下
Ni ppb 100 以下