ENG | KOR

特殊气体

C4F6 / WF6
CH2F2 / CHF3
CH2F2
c4f6

二氟甲烷(CH2F2)
[Difluoromethane]

· 应用 半导体蚀刻工程中所使用的Dry etching gas
· 规格 汽缸 : Mn-Steel, 47L / 阀门类型 : JIS22L, DISS724 /
重量 (KG) : 30KG, 35KG

MSDS Download

· 产品规格

分类 单位 规格
Purity % 99.99 以上
H2O ppm 10 以下
HF ppm 1 以下
N2 ppm 20 以下
O2 ppm 5 以下
CO2 ppm 1 以下
OHFC ppm 10 以下
CHF3
c4f6

三氟甲烷(CHF3)
[Trifluoromethane]

· 应用 半导体蚀刻工程中所使用的Dry etching gas
· 规格 汽缸 : Mn-Steel, 47L / 阀门类型 : CGA660 /
重量 (KG) : 30KG

MSDS Download

· 产品规格

分类 单位 规格
纯度 % 99.995 以上
H2O ppm 3 以下
HF ppm 1 以下
N2 ppm 10 以下
O2 ppm 10 以下
CO2 ppm 5 以下
OFC ppm 1 以下